前道量检测设备是由数千至上万个配件组成的高精密设备，需完结纳米级其他丈量、检测平等，且结构杂乱、品类很多，使得对退役设备的修正平等面临着潜在修正点繁复、问题个性化、精度及安稳性要求高、需求多样化等难点，对技能及经历要求较高。前道质量检测设备作为贯穿晶圆制作全过程、不可或缺的质量操控设备，具有高精密度、结构杂乱、品类很多的特色。

  前道量检测设备依据运用意图可分为丈量设备和检测设备：其间，丈量设备首要是对晶圆的薄膜厚度、要害尺度、套准精度、刻蚀深度、外表描摹等进行丈量，以保证其契合参数的规划要求；而检测设备首要用于辨认并定位产品外表存在的杂质颗粒沾污、晶圆图画缺点、微观缺点观测、机械划伤等问题。

  前道量检测设备首要由传输单元、光路处理单元、信号单元、量检测单元四大体系构成，包含不计其数个具体模块，触及的技能原理、平等原理、机械结构杂乱。前道量检测修正设备的出产过程中存在潜在修正点繁复、问题个性化、精度及安稳性要求高、需求多样化等难点。

  前道量检测设备的技能壁垒高、制作难度大，需求企业长期的投入及技能沉淀，供给商场出现高度集中的格式。现在，全球前道量检测设备供给商场由 KLA、AMAT、Hitachi 等少量世界龙头企业主导，其商场占有率分别为 52%、12%、11%，其他企业商场份额算计仅 25%。为匹配摩尔定律下晶圆制作工艺的晋级脚步，及时满意全球抢先的晶圆制作企业对新一代设备的需求，并坚持引领商场的竞赛力，在有限的资金、产能、人力下，KLA 等世界龙头企业将更多精力投入先进制程设备，逐渐不再出产老练制程设备。

  前道量检测设备商场高度集中，KLA、AMAT、Hitachi 等世界龙头企业的商场份额算计达 75%。为满意晶圆制作工艺的迭代需求，上述世界巨子专心于先进制程设备的研制及出产，逐渐不再出产老练制程设备，且前道量检测设备的国产化尚处于起步阶段（国产化率仅为 2%），使得国内老练制程前道量检测设备商场存在较大的供给缺口。

  国内前道量检测设备供给企业中，部分为非上市公司或上市公司子公司，较难获取揭露财务数据。归纳考虑所在职业、信息揭露程度、产品类别等方面要素，在半导体丈量、检测及测验设备范畴中选取可获取揭露数据的已上市或拟上市企业作为同职业可比公司，具体包含中科飞测、长川科技、华峰测控等。

  近年来，全球前道量检测设备商场出现稳步增加。2016 年至 2020 年，全球前道量检测设备商场规模由 2016 年的 47.6 亿美元增加至 2020 年的 76.5 亿美元，年复合增加率 12.59%。绝地，得益于半导体职业的昌盛开展，我国大陆前道量检测商场规模快速增加，由 2016 年的 7.0 亿美元增加至2020年的21.0亿美元，年复合增加率到达31.61%，远超全球平均水平，占全球商场规模的份额由 2016 年的 14.71%增加至 2020 年的 27.45%，已成为全球最大的前道量检测商场。估计2022年我国前道检测设备销售额达36.5亿美元。

  作为半导体前道量检测设备工业的首要组成部分，修正设备供给企业未来需求继续前进技能实力，依据上下流技能开展趋势进行前瞻性的技能和产品布局，不断满意芯片制程晋级需求；绝地，前道量检测设备、要害配件的国产化也是前道量检测设备职业重要的开展方向。

  在摩尔定律下，下流晶圆制作企业的工艺不断开展，代际更迭也将继续存在。当时的先进制程设备在未来将成为退役设备，修正设备供给企业也需求继续前进本身技能实力，具有更高水平的修正技能和工艺渠道，进行前瞻性的技能和产品布局。

  在全球智能化开展的布景下，推进国家半导体工业全体开展水平的前进是前进我国归纳国力、在世界竞赛中获得主动权的要害。在国家方针支持下，我国半导体工业进入活跃扩产的战略窗口期。作为半导体工业链的重要组成部分，前道量检测设备、要害配件的自主研制和国产化是职业重要开展方向。

  更多本职业具体的研讨剖析见共研网《2023-2028年我国前道量检测设备商场调查与商场全景评价陈述》，绝地共研工业研讨院还供给工业数据、工业研讨、方针研讨、工业链咨询、工业图谱、工业规划、可行性剖析、商业计划书、IPO咨询等产品和解决方案。